半導體工業電子超純水設備設計方案
規模、超大規模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，
線寬越窄，對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級，分別為
18Mù.cm、15Mù.cm、10Mù.cm、2Mù.cm、0.5Mù.cm，以區分不同水質。
2.電子工業超純水設備特點
電子工業超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理
系統、RO 反滲透主機系統、離子交換混床(EDI 電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間
水箱、RO 純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水
質檢測控制儀表、電氣采用PLC 可編程控制器實驗室純水設備，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶
要求相統一的方法，使該設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。
3.電子工業超純水的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產品;
6、其他高科技精微產品;
工業電子超純水設備工藝流程說明：
1、 第一級預處理系統：采用石英砂多介質過濾器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質、
懸浮物等顆粒在20 m以上對人體有害的物質，系統可以自動(手動)進行反沖洗，正沖洗等一系列
操作。
2、 第二級預處理系統：采用果殼活性碳過濾器，目的是為了去除水中的色素、異味、生化有機物、降低
水的余氯值及農藥污染和其他對人體有害的污染物。系統可以自動(手動)進行反沖洗，正沖洗等一
系列操作。
3、 第三級預處理系統：采用陽樹脂對水進行軟化，主要是降低水的硬度，去除水中的鈣、鎂離子(形成
水垢的主要成分)，可有效延長反滲透膜的使用壽命，并可進行智能化樹脂再生。
4、 第四級預處理系統：采用5um 孔徑精密過濾器，使水得到進一步的凈化，使水的濁度和色度達到優
化。保證RO 系統進水條件要求，保證設備的產水質量，延長設備的使用壽命。
5、 反滲透(超濾)設備主機：采用反滲透(超濾)技術進行深度脫鹽處理(進口美國反滲透膜)去除鈣、
鎂、鉛、汞等對人體有害的重金屬物質及其他雜質，降低水的硬度，脫鹽率達99%以上，生產出符合
國家標準的純凈水。
6、 微過濾裝置：安裝該裝置主要是為防止微粒樹脂顆粒從布水中濾出實驗室純水設備，造成二次水質污染，這主要是運
用在對水質特別高的場合。
殺菌系統：采用臭氧發生器(或紫外線殺菌器)，減少細菌二次污染，滅菌率可達99%以上，同時臭氧溶
于水形成富氧水，保證水的純鮮。采用水氣混合器使臭氧充分與水混合，達到最佳濃度比。
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